大塚電子は光を媒体とした技術で、医用機器、分析機器、分光計測機器という３つの事業を展開。同社は、光干渉による非接触・非破壊で薄膜測定が可能な顕微分光膜厚計「ＯＰＴＭシリーズ」を新製品として発表した。

非接触・高速にＤＬＣを測定

これまでの膜厚計では、破壊試験でしか測定出来なかったＤＬＣ膜が同社のＯＰＴＭシリーズを使用する事で、非接触かつ高速にＤＬＣ膜を測定する事が可能となる。また、顕微光学系により、曲面があっても正確な測定ができる点も大きな特長の一つである。同装置は光干渉法を用いた分光計測なので、これまでの膜厚計では不得意だった極薄膜・多層膜・カラーフィルタ・透明基板まで高精度な計測が可能となった。また、光学定数解析が可能な楽々解析ウイザードの画面に従うだけで、誰でも簡単に測定でき、高速オートフォーカスにより、１ポイント１秒の高速測定で、膜厚測定の繰り返し精度も０・１nmを実現している。自動Ｘ–Ｙステージ、固定フレーム、組込みヘッドの３使用タイプを品揃え。

薄膜～多層膜まで、簡単・高速・高精度な膜厚測定がこれ１台で解決できる。