日本エム・ケー・エスは、半導体やFPD製造をはじめとする様々な製造プロセスに用いられる圧力計測、制御、材料デリバリー、ガス組成分析、反応ガス発生、電源、プロセス制御、等々の最先端技術搭載製品を提供している。

同社が新たに発売した、コールドカソード真空計「シリーズ523」はポリマー樹脂材料および二段階放電を採用した革新的真空トランスデューサで、工業用コーティング、分析機器、汎用真空用途に適した広域レンジの真空計を低価格で提供する。通常大気～1・33測定に必要なピラニセンサを使用せずに、大気～1・33×10–5までの広い圧力範囲をカバーできる。センサ部のみ交換でさらにコスト節減も可能。

また、質量分析器「Vision2000-C/E™XD」は、最適化された差動排気システムによりCVD、ALD、Etchなど様々な半導体プロセスにおいてベース圧力からプロセス圧力までシームレスに残ガス分析が可能。同社、従来品の10倍以上（自社調べ）の検出感度と測定再現性を実現し、工程歩留り、製品歩留り向上に貢献する。