半導体は数多くの工程を経て製造されます。フェローテックの技術と製品は、その製造工程で欠かせない存在となっています

装置関連事業

装置関連事業では、半導体、液晶や有機ELなどのフラットパネルディスプレイ製造装置向けの製品を取り扱っています。主な製品には、磁性流体技術を応用した真空シールや半導体製造工程に不可欠なマテリアル製品を生産供給しています。この分野は、タブレットPC やスマートフォンはもちろん、今後、成長が見込まれるウェアラブル端末など、最先端の半導体技術を支えます。それを量産化するために必要な技術とノウハウを豊富に蓄積しています。

電子デバイス事業

電子デバイス事業では、フェローテックのコア技術である磁性流体とペルチェ素子サーモモジュールがあります。磁性流体は、真空シールの内部で利用されウエーハ搬送用ロボットなど、クリーンルーム内で使用される設備に装着することで塵の侵入を防止します。
サーモモジュールは電流を流すと熱を移動するヒートポンプの役割を果たすことから、電子機器の恒温や熱対策素材として用いられています。製品別に冷凍庫と同じマイナス20℃から沸点の100℃を楽に超す性能を有しているため、医療機器や半導体、通信分野など幅広い産業で活躍しています。

太陽電池関連事業

太陽電池の発電効率向上にはインゴット製品の品質安定化が不可欠です。石英るつぼ内に充填されている原材料のポリシリコンは、不活性ガスの環境下で加熱すると高温で溶解します。このポリシリコン溶液の中に種結晶を接触させてゆっくりと回転させながら引き上げると単結晶シリコンインゴットが出来上がります。フェローテックの単結晶引上装置は、オートメーションプログラムにより、高変換効率の単結晶インゴットを生産することが可能です。フェローテックでは結晶製造装置、石英るつぼ、シリコン製品、セルなど一連の太陽電池関連製品を供給しています。