DM6M LIBSのレーザープラズマ分光機能により、顕微鏡で拡大観察中の微細構造の化学組成をその場で、高速に同定することができます。微細構造部分を見つけたら、ワンクリックでLIBS分析を開始できます。電子顕微鏡を用いる従来の手法に比べて、化学分析の時間を90%節減できます。視覚、化学情報の双方に基づき、迅速な意思決定ができます。試料の微細構造の組成分析のためのツールを結合することで、正しい意思決定が迅速にできます。全体の90%以上のケースで、次のアクションを迅速・確実に決定（たとえば汚染源の特定のためSEMによる詳細分析が必要）するのに十分なデータが得られています。

DM6M LIBSシステムにコンタミ解析用ソフトウェア Cleanliness Expertを組み合わせて、フィルター上試料の目視検査と化学試験を1システム、1つのワークフローで実行することができます。コンタミ源の同定、検出が容易になります。より確信のおける結果を粒子組成と構造の両データを迅速に得ることで、分析中に同定、次のアクション決定を迅速に行うことができます。