『ATS-20』は、半導体業界の効率的な物流を目的とした搬送ロボットで、20個の収納スペースを搭載しています。
各収納スペースにはREIDセンサーが装備され、収納状況や収納されているウェハボックスの情報をリアルタイムで監視し、正確な管理を確保。
また、レーザーSLAMに基づくナビゲーション技術を採用し、±10mmの高精度な位置決めを実現し、輸送過程での正確なナビゲーションを保証します。

■20個トレイ収納スペース
■半導体業界向けの効率的な物流設計
■多段階の安全保護システム
■レーザーSLAMのハイブリッド位置決めナビゲーション
■配置が容易で、複数協同作業に対応
■長時間連続安定運転