ウェハ・半導体製造プロセスにおいて、ステンレスからの金属汚染問題の対策が急務となっている。コンタミネーション・コントロール・サービスは、半導体製造工程におけるコンタミネーション制御に関する各種ソリューション及びサービスを提供し、ステンレスの腐食対策の表面処理に取り組んでいる。

シリカコート Quartzace

腐食や汚染を防ぐための高純度シリカガラスコーティング処理を行うことで、基材の特長を活かしたまま、表面のみシリカガラスの性質が得られる。チャンバー、チャンバー回りパーツ、フランジ類などへコーティングすることでメンテナンスサイクルが大きく改善する。

ステンレスの表面改質「SPP処理」

ステンレスの表面改質により、最表層に欠陥のない緻密なＣｒ２Ｏ３膜を形成。一般的なステンレスでも耐食性が飛躍的に向上し、配管内面やバルブ、マスフローなどのパーツ内面、チャンバーやフランジなど形状を問わず処理を施すことができる。水素インフラや超高真空の分野においても期待される。