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株式会社コンタミネーション・コントロール・サービス

半導体製造時の金属汚染や腐食を防ぐ技術のイメージ画像

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半導体製造時の金属汚染や腐食を防ぐ技術

ウェハ・半導体製造プロセスにおいて、ステンレスからの金属汚染問題の対策が急務となっている。コンタミネーション・コントロール・サービスは、半導体製造工程におけるコンタミネーション制御に関する各種ソリューション及びサービスを提供し、ステンレスの腐食対策の表面処理に取り組んでいる。

シリカコート Quartzace

腐食や汚染を防ぐための高純度シリカガラスコーティング処理を行うことで、基材の特長を活かしたまま、表面のみシリカガラスの性質が得られる。チャンバー、チャンバー回りパーツ、フランジ類などへコーティングすることでメンテナンスサイクルが大きく改善する。

ステンレスの表面改質「SPP処理」

ステンレスの表面改質により、最表層に欠陥のない緻密なCr2O3膜を形成。一般的なステンレスでも耐食性が飛躍的に向上し、配管内面やバルブ、マスフローなどのパーツ内面、チャンバーやフランジなど形状を問わず処理を施すことができる。水素インフラや超高真空の分野においても期待される。

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基本情報

企業名 株式会社コンタミネーション・コントロール・サービス
設立 2000年1月31日
代表者名 進藤 豊彦
連絡先 〒252-0134
神奈川県相模原市緑区下九沢529-3
電話番号:042-764-3725
ウェブサイト https://contamination-control-services.com

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