コンタミネーション・コントロール・サービスは、シリカガラスコーティングの開発に成功して以降、ウエハ・半導体製造プロセスにおいて、ステンレスからの金属コンタミ問題の対策として長年研究してきたハード（表面処理技術）とソフトにより顧客の要求に応えている。

シリカコート Quartzace

腐食や汚染を防ぐための高純度シリカガラスコーティング処理を行うことで、基材の特長を活かしたまま、表面のみシリカガラスの性質が得られる。チャンバー、チャンバー回りパーツ、フランジ類などへコーティングすることでメンテナンスサイクルが大きく改善する。

ステンレスの表面改質「SPP処理」

ステンレスの表面改質により、最表層に欠陥のない緻密なＣｒ２Ｏ３膜を形成。一般的なステンレスでも耐食性が飛躍的に向上し、配管内面やバルブ、マスフローなどのパーツ内面、チャンバーやフランジなど形状を問わず処理を施すことができる。水素インフラや超高真空の分野においても期待される。

最新情報

２０２２年５月には水素科学技術連携研究会の企業会員となり、水素透過防止の表面処理を国の機関であるＮＩＭＳと研究をしている。