1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ

2つの機構で性能分類
高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。

直接駆動機構
・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。

変位拡大機構
・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。
・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。

製品応用例
・半導体、FPD検査装置
・HDDテスタ
・レーザ光学系アライメント
・干渉系機器
・分析機器
・ナノメータポジショニング