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THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ「標準直動ステージ」のイメージ画像

最終更新日:2023.01.31

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ピエゾステージ「標準直動ステージ」

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ

2つの機構で性能分類
高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。

直接駆動機構
・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。

変位拡大機構
・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
・拡大率により、直接駆動の数倍~十数倍のストロークが得られます。
・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。

製品応用例
・半導体、FPD検査装置
・HDDテスタ
・レーザ光学系アライメント
・干渉系機器
・分析機器
・ナノメータポジショニング

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基本情報

企業名 THKプレシジョン株式会社
設立 2002年1月10日
代表者名 飯田 克彦
資本金 5,000万円
従業員数 12名
連絡先 〒144-0033
東京都大田区東糀谷4-9-16 THKテクノセンター2F
電話番号:03-5735-5086
FAX:03-5735-5087
ウェブサイト https://www.thkprecision.co.jp/

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