微少流量・高精度計測で、次世代半導体製造を支援

生成ＡＩやデータセンター需要の拡大を背景に、半導体製造プロセスでは、より高度な精度管理と安定した生産体制が求められている。特に成膜・エッチング・ＣＶＤ・スクラバーといった工程では、ガス流量のわずかな変動が製品品質や歩留まりへ大きな影響を与えるため、高精度な流量制御技術の重要性が高まっている。

日本スターテクノ株式会社は、マスフローメーターやマスフローコントローラー、圧力制御機器などを通じ、半導体製造現場を支える計測・制御ソリューションを展開している。米ＡＬＩＣＡＴ社製品の正規代理店として、半導体産業向けをはじめ、多様な製造分野へ高性能機器を提供してきた。

同社が取り扱うコリオリ式マスフローメーターは、高圧・低流量・多様な特性ガスに対応し、高精度な流量計測を実現。成膜工程やエッチング工程、ＣＶＤ工程、スクラバー設備、スパッタリング工程など、半導体製造の重要プロセスにおいて安定したガス制御を支援する。

また、流量制御だけでなく、背圧レギュレーターや真空レギュレーターなども展開。腐食性媒体や極端な温度条件、混相流体にも対応し、精密な制御性能を発揮する。瞬時の応答性や広い流量範囲能力を備え、先端半導体分野をはじめ、高度化する製造現場のニーズへ柔軟に応えている。

近年は、半導体製造装置の高性能化に伴い、単なる機器販売ではなく、プロセス最適化まで踏み込んだ提案力が求められている。同社は顧客ごとの課題に寄り添いながら、適切な計測・制御機器を提案。安定生産や品質向上、製造効率改善に貢献している。

半導体産業の進化とともに、製造プロセスに求められる精度は今後さらに高まっていく。日本スターテクノは、高精度な流量・圧力制御技術を通じ、次世代半導体製造を支える存在として注目されそうだ。