EPR 500 高精度電子圧力レギュレータ

様々な用途向けに空気または不活性ガスを制御するための高精度電子圧力レギュレータ(EPR)を幅広く提供。
ドーム型背圧レギュレータおよび真空レギュレータのパイロット基準圧力の制御に使用することが可能。

■ 不活性ガスの静的用途から低流量用途向けに設計
■ あらゆる非腐食性ガスに対応
■ 精度 0.25% の非常に高い分解能
■ デジタルまたはアナログ通信に対応
■ キーパッドから直接制御
■ 最大 500 psig までの圧力を制御可能

背圧レギュレータ

背圧レギュレータは唯一の可動部分としてフレキシブルダイヤフラムを採用し、摩擦のない安定した動作を実現。
ドーム型マルチオリフィス設計は、最も複雑なアプリケーションに対して瞬時の制御と優れた精度を提供。

■ 比類のない精度
■ 非常に広い流量範囲能力
■ 瞬時の応答性
■ 摩擦のない制御
■ 厳しい温度や化学薬品への適合性
■ 液体と気体の二相流を一緒に処理する能力