レーザとラインビームを使用する光学系装置の開発・販売を行うオプトピアは、超短パルスレーザーを主とした、最先端高品質加工を得意とするリトアニアのレーザ微細加工システムメーカー、ＷＯＰと提携を開始した。ＷＯＰ社はフェムト秒、ピコ秒、ナノ秒レーザ搭載の加工装置を13台所有。

同社と提携し行うレーザとエッチングのハイブリッド加工は長焦点深度の光学系により、レーザでガラスの改質を行い、改質したガラスをエッチングするとレーザ照射された部分だけエッチング速度が１００倍以上に加速され、極めて高品質で微細な穴あけ加工、多角形加工、切断加工が実現できる特許技術。穴径は最小径20㎛から自由形状加工でき、アスペクトレシオは最大１：１００で、加工穴及び断面はテーパーレスで、表面粗さはRa１㎛以下の品質。穴径精度は±１㎛、加工位置精度は±３㎛以下、ガラス厚みは30㎛～10㎜まで対応。石英ガラスやボロフロートガラス、テンパックス、ＢＫ７など、多種のガラスに対応している。高品質微細加工でお困りの方は同社に問い合わせてみたらいかがだろうか。