優れた膜厚均一性！
曲面並びに平坦大基板超高精度光学薄膜スパッタリング装置

『FHR.Star.600-EOSS』は、光学フィルター成膜用として設計されたマグネトロンスパッタシステムです。

成膜中のパーティクルを最小限にするためスパッタアップの方式を採用。

300mm径もしくは280×330×50mmサイズのフラット並びに曲面の基板まで対応しており、基板加熱機構も組み込み可能です。

特長とメリット

■傑出した光学多層膜の再現性
■優れた膜厚均一性
■完全に自動化されたプロセス制御
■プロセスの柔軟性を最大にするレシピプログラム
■主要データ